第二百四十四章 Spi超级光学镜片

开始解释起来：

    “各位专家，我们都知道，在euv光刻机里，现在卡住我们的主要是光源、反光镜、纳米定位（精度）和组装工艺。”

    “这张图片的技术资料，是euv光刻机重要的光源制造技术，和现在技术利用‘二氧化碳激光轰击金属锡获得euv等离子体’不同，我们突破了另一种更为简单获取euv光源的技术……”

    话音刚落，几声轻微的惊咦声在会议室响起。

    胡来仔细的讲解着图片上的技术内容，紧接着一张又一张的图片出现在幕布上。

    “这一张图片上的内容，同样是光刻机最核心的部件——纳米定位器，这是我们纳米定位对准显微系统的3d结构图，这个定位系统可以精确到亚纳米级……”

    “……”

    “最后这几张图片是我们的技术组装文档，因为每个部件实在太多，我简单介绍个大纲然后详解一个部件……”

    胡来做了一晚上的功课显然颇有成效，随着一张张技术资料的截图出现在投影幕布上，会议室彻底安静的只剩胡来一个人的声音。

    而当他最后拿出光刻机组装文档后，在场所有专家再也忍不住，纷纷开始低声讨论起来。

    何首长此时心里也有些紧张，他对技术并不了解，所以会议开始后他主要观察着会议室内的情况。

    令他没有想到的是，从投影幕布上出现第一张图片开始，专家组所有成